干涉測量法的工作原理是什么？

干涉測量法的工作原理是什么？

簡介

邁克爾遜干涉儀是干涉測量中常用的工具，由Albert Abraham Michelson（*獲得諾貝爾科學獎的美國人）于1887年發明。他發明了鏡組和半透半反鏡組（分光鏡）系統，可將來自相同光源的分離光束融合在一起進行干涉測量。激光干涉測量法是一種完善的高精度測距方法。

基本原理：

邁克爾遜干涉儀一般可將相干光源的單條射入光束分成兩條相同的光束。每條光束的傳播路徑（稱為光程）不同，并在到達探測器之前重新會合。每條光束的傳播距離不同使它們之間產生相位差。正是該相位差在初相同的光波之間形成可通過探測器進行識別的干涉條紋。如果單條光束沿兩個光路分開（測量和參考光路），則利用相位差便可判斷出所有可改變光束相位的因素。這可能是光路長度本身的物理變化，或者是光束傳播介質的折射率的變化。

邁克爾遜干涉測量法

從激光源發出的激光光束 (1) 在干涉鏡處被分成兩束光（參考光束 (2) 和測量光束 (3)）。這些光束從兩個角錐反射鏡反射回來，并在到達探測器前，在干涉鏡處重新會合。

使用角錐反射鏡可確保從參考臂和測量臂反射回的光束在干涉鏡處重新會合時保持平行。重新會合的光束到達探測器后，以相長或相消的方式相互干涉。在相長干涉過程中，兩束光同相，它們的波峰相互加強，產生明亮的干涉條紋；而在相消干涉過程中，兩束光異相，其中一束光的波峰被另一束光的波谷抵消，形成灰暗的干涉條紋。

                                                                                       ---摘自雷尼紹，侵刪